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半导体专用充氮烘箱

半导体专用充氮烘箱

典型产品:半导体专用带充氮鼓风烘箱
产品型号:SGTG-FC-120N
主要技术参数指标(该性能指标可在环境温度为+5~+35℃测定):
1.结构:
    1.1 工作室尺寸:高1000mm 宽1100mm 深1000mm;
    1.2 外形尺寸:见图纸;
    1.3 风道间距:60mm;
    1.4 保温层厚度:90mm;
    1.5 配置支撑脚及滚轮,高度:100mm;
    1.6 加热管位置:背部;
    1.7 鼓风电机位置:背部;
    1.8 进风口位置:右侧;
    1.9 出风口位置:顶部,配调节阀;
    1.10 工作室内运风方式:水平送风;
    1.12 箱内分层:分2层,配置冲孔不锈钢层板;
    1.13 开门方式:双开门,杠杆式门扣;
    1.14 控制箱位置:右侧;
    1.15 充氮口位置:电器箱背部;

2.主要性能:
    2.1 工作温度范围:室温+15℃~200℃;
    2.2 控温精度:±0.2℃;
    2.3 温度波动度:≤±1℃;
    2.4 温度均匀性:≤±3℃;
    2.5 升温时间:≤40分钟(空箱,25℃~200℃);
    2.6 控温方式:PID调节,SSR模块控制;
    2.7 可编程控温:8段可编程数显温控仪;
    2.8 定时范围:1分钟~99小时99分钟;设定时间到提示工人开门散热冷却;
    2.9 箱外表面温度:≤室温+25℃;
    2.10 配置充氮装置,设置自动或手动充氮开关;自动充氮由高温湿度测定仪控制,达不到湿度控制电磁阀打开充氮;手动充氮由手动打开电磁阀
    2.11 氮气流量:10~70L/min

3.电气容量: 
    3.1 电源:AC380V  3相4线  50Hz
    3.2 加热功率:20KW;
    3.3 鼓风功率:750W*2
    3.4 最大电流:30A
    3.5 空气开关容量:60A

4.保安装置:
    4.1空气开关(防止过流和短路)
    4.2风机过热保护(保护送风机,防止风机温度过高)
    4.3过流保护(防止电流过高)
    4.4超温保护(防止工作室温度过高,保护产品)
    4.5设定时间未到设定温度报警